透射及扫描电镜样品制备系统-西安交通大学-西北有色金属研究院-日立联合研发中心

设备

采用极低能量同时经聚焦的氩离子束制备超高质量的透射电镜样品，特别适合FIB制备的样品非晶层去除，并在去除非晶层的同时，不产生任何沉积效应，能够增强传统离子减薄制备样品的成像质量。可实现快速换样，操作简捷，使用方便。配备等离子体清洗仪，去除样品表面碳沉积及有机污染物，支持获得更优质的电镜观测目的。

1、超低能氩离子束，修复电压：50-2000eV

2、样品台倾转角度：-10~+30

电镜样品厚度建议在110nm~150nm，样品载体建议使用Omniprobe grid，样品与grid连接良好，确保不掉落；样品尺寸约10*20微米。

适配等离子清洗仪搭载台的电镜样品，均可使用。

* 注册预约账号前请先联系设备管理员（联系电话见上方简介）确认设备状态、预约规则及实验内容可行性。