SEM4000是一款肖特基场发射扫描电子显微镜，电子枪加速电压范围0.2kV-30kV，有效放大倍数1x-50000x，除配备标准的样品仓旁侧二次电子探测器（ETD）外，设备还具备以下特色：

（1）面向原位实验装置设计

1. 大容量样品仓保证有足够空间容纳各类原位附件，样品仓具体尺寸：宽 360 mm，高317 mm，深 310mm；

2. 样品仓可从正面整体打开，无交换仓；

3. 样品台承重能力强，最大承重3kg；

4. 样品仓配备16个法兰接口，方便各类原位附件扩展安装；

5. 设备自带软件具备原位视频录制功能（厂商开发中）。

（2）配备极靴下电动伸缩式半导体四分割背散射探测器（BSD）

图1 BSD工作示意图

本设备是目前我中心创新港实验室唯一配备极靴下背散射电子探测器的设备，在成分衬度成像方面有一定优势。

（3）配备低真空探测器

本设备具有低真空模式，样品仓工作时最高压力可到180Pa，配合使用低真空探测器，可实现不导电样品在不喷镀条件下成像，具体成像原理如图2所示。

图2 低真空二次电子探测器工作示意图

（4）已适配Hysitron PI 89纳米力学测试系统

Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪可在SEM成像的同时进行定量纳米力学测试，该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。该压痕仪的主要参数如下表所示：

(5)已适配适配KW原位拉伸样品台，可实现原位力热耦合实验。