由于纳米压痕仪所用压头尺寸小（玻氏压头尖端曲率半径约100-200nm，压入深度浅（通常为200nm左右），适用于块体和薄膜材料的微区硬度、弹性模量测试。结合相应的压头、传感器及样品台，该设备还可用于粘弹性材料的相关力学性能研究、微柱变形行为研究、断裂韧性测试、摩擦性能及膜基结合能力研究、材料在力电耦合和力热耦合等条件下的相关性能研究。
低载传感器：
最大力为10mN，分辨率为1nN，噪音值为100Nn
侧向最大力为2mN，分辨率为3uN，噪音值为10uN；
最大位移为5um，分辨率为0.04nm，噪音值为0.2nm
侧向最大位移为15um，分辨率为4nm，噪音值为10nm
高载传感器：
最大力为7N，最大位移为80um；
侧向最大力为5N，最大位移为25mm
金属Cr的压入行为研究
铜薄膜的摩擦行为研究
超细层状FeAl/FeAl2合金高温下界面促使稳定塑性研究
地址：
陕西省西安市西咸新区西部科技创新港躬行楼
邮箱：
yx6677@xjtu.edu.cn
版权所有：西安交通大学-西北有色金属研究院-日立联合研发中心
